ベローズ(NW16成型、NW25成型、NW40成型、NW50成型)
NWフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
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NWフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
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ICFフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収する高気密な成型ベローズです。
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VG・VFフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
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ISO MFフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
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ISO BTフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
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NWフランジを備え、真空配管の位置ずれ吸収や狭所での曲げ配管に対応するフレキシブルチューブです。
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ICFフランジを備え、超高真空環境での気密性と高温ベーキングへの対応力を持つフレキシブルチューブです。
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VG・VFフランジを備え、柔軟性・耐久性・気密性を兼ね備えた真空配管用フレキシブルチューブです。
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パイプエンド接続に対応し、柔軟性・耐久性・気密性を備えた真空配管用フレキシブルチューブです。
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NW16-CP, NW25-CP, NW40-CP, NW50-CP
NWフランジ同士を工具を使わずに固定でき、保守時の着脱を容易にするアルミクランプです。
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NW16-CR, NW25-CR, NW40-CR, NW50-CR
NWフランジ間に挟み込み、Oリングによって真空配管の気密性を確保するセンターリングです。
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NW16-BK, NW25-BK, NW40-BK, NW50-BK
使用しないNW真空配管の接続口を封止し、真空漏れを防ぐブランクフランジです。
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NW16-20L, NW25-20L, NW40-20L, NW50-20L
限られたスペースで真空配管や装置を接続しやすい、コンパクトなNWショートフランジです。
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NW16-50L, NW25-50L, NW40-50L, NW50-50L
溶接や配管加工を行いやすい長さを備えたNWロングフランジです。
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NW16/25-R, NW25/40-R, NW25/50-R, NW40/50-R
異なるサイズのNW規格配管を接続し、配管径を変更するためのレジューサです。
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NW16-CX, NW25-CX, NW40-CX, NW50-CX
真空配管を四方向へ分岐し、機器の増設や柔軟な配管構成に対応するNWクロスです。
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NW16-TE, NW25-TE, NW40-TE, NW50-TE
真空配管を三方向へ分岐し、機器の増設や柔軟な配管構成に対応するNWティです。
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NW16-EB, NW25-EB, NW40-EB, NW50-EB
真空配管の方向を90度変更し、限られたスペースでの配管レイアウトに対応するNWエルボです。
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ICF70F, ICF114F, ICF152F, ICF203F, ICF253F
高真空・超高真空配管を強固に接続するICF固定ブランクフランジです。
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ICF70-27.7F/34F/38F/41F/42.7F, ICF114-60.5F/63.5F, ICF152-101.6F, ICF203-153F, ICF253-203F
高真空・超高真空配管を強固に接続するICF固定穴あきフランジです。
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ICF70R, ICF114R, ICF152R, ICF203R, ICF253R
高真空・超高真空配管を強固に接続するICF回転ブランクフランジです。
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ICF70-27.7R/34R/38R/41R/42.7R, ICF114-60.5R/63.5R, ICF152-101.6R, ICF203-153R, ICF253-203R
高真空・超高真空配管を強固に接続するICF回転穴あきフランジです。
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ICF34F
ICF34規格の高真空・超高真空配管に対応する固定ミニブランクフランジです。
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ICF34-6.4F/9.6F/12.8F/17.3F/19.1F
ICF34規格の高真空・超高真空配管に対応する固定ミニ穴あきフランジです。
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ICF34R
ICF34規格の高真空・超高真空配管に対応する回転ミニブランクフランジです。
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ICF34R-17.3R/19.1R
ICF34規格の高真空・超高真空配管に対応する回転ミニ穴あきフランジです。
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ICF34G, ICF70G, ICF114G, ICF152G, ICF203G, ICF253G
ICFフランジの接続部を密封し、高真空・超高真空環境の気密性を維持する銅ガスケットです。
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ICF34-4VCRFG/6VCRFG/8VCRFG, ICF70-4VCRFG/6VCRFG/8VCRFG
ICFフランジとVCR継手を接続するメス変換アダプターです。
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ICF34-4VCRMG/6VCRMG/8VCRMG, ICF70-4VCRMG/6VCRMG/8VCRMG
ICFフランジとVCR継手を接続するオス変換アダプターです。
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NW16-ICF, NW25-ICF, NW40-ICF, NW50-ICF
NW規格とICF規格の真空配管を接続する変換アダプターです。
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NW16-4VCRFG/6VCRFG/8VCRFG, NW25-4VCRFG/6VCRFG/8VCRFG, NW40-4VCRFG/6VCRFG/8VCRFG, NW50-4VCRFG/6VCRFG/8VCRFG
NWフランジとVCR継手を接続するメス変換アダプターです。
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NW16-4VCRMG/6VCRMG/8VCRMG, NW25-4VCRMG/6VCRMG/8VCRMG, NW40-4VCRMG/6VCRMG/8VCRMG, NW50-4VCRMG/6VCRMG/8VCRMG
NWフランジとVCR継手を接続するオス変換アダプターです。
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大口径配管を斜めに切断して突き合わせ、90度に仕上げる特注加工品です。
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多方向や異径の接続口など、配管レイアウトに合わせて設計・製作する特注加工品です。
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真空装置向けのステンレス製マニホールド配管を設計・製作する特注加工品です。
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フレキシブルチューブによって振動を吸収し、精密機器への影響を抑える特注加工品です。
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真空装置で使用するステンレス製多ポートタンクの特注加工品です。
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小口径から大口径まで、フランジの製作・追加工・溶接に対応する特注加工品です。
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100A以上にも対応する大口径の真空・排気用ステンレス製曲げ配管です。
詳しく見るFAQ
半導体、電子部品、医療、食品、バイオ、エネルギーなど幅広い産業分野で使用される、制御された流体をスムーズに送り出す真空用配管(SRVシリーズなど)および接続部品です。
半導体、液晶パネル、太陽電池といった先端分野をはじめ、医療、食品、バイオ、エネルギーなど真空技術を必要とする様々な製造現場の配管システムで使用されます。
従来製品に比べ、一段と柔軟性を高めるとともに、耐食性・耐久性に優れた性能特性を備えています。豊富な加工技術と量産技術にも対応し、他社では断られるようなカスタマイズ品にも対応します。高品質化と経済性の両立を実現している点が強みです。
パイプエンド(P型)、JISフランジ(VG/VF)、NW(KF)フランジ、ICFフランジなどの標準品としてそろえてあります。その他でもご要望に応じて特殊な材質やサイズが必要な場合にも対応します。
JISフランジ(VG/VF)、NW(KF)フランジ、ICFフランジに対応しています。継手部品としては、ICF固定フランジ、ICF回転フランジ、ICF固定ミニフランジ、ICF回転ミニフランジ、NWクランプなどが用意されています。
NW(KF)フランジの場合、呼び径10〜50まであり、L寸法(長さ)は250mm〜1000mm等の標準サイズが用意されています。詳細な寸法はカタログの寸法表をご確認ください。
使用する配管システムのフランジ規格(JIS、NW、ICF等)、必要な長さ(L寸法)、管径(呼び径)に合わせて選定してください。また、特殊な材質やサイズが必要な場合は特注対応も可能です。
標準寸法表に記載のある呼び径や長さ(250, 500, 1000mmなど)から選定するのが基本ですが、表以外の寸法(長さ)も製作いたしますのでご指定いただけます。
標準仕様の材質はSUS304やSUS316Lですが、他材質(SUS304L、SUS316など)での製作も可能ですので、ご指定・ご相談いただけます。
使用圧力範囲は「大気〜高真空」が基準ですが、超高真空や加圧等はご相談ください。
使用温度範囲は「MAX250℃」です。
カタログの標準寸法表以外の寸法(長さ)の製作や、標準材質(SUS304, SUS316L等)以外の材質(SUS304L、SUS316等)での製作、またICFフランジのタップ穴加工などの特注対応が可能です。
材質・継ぎ手・加工方法などの情報をご提供ください。
図面のみでのご要望には対応しておりません。
はい、大丈夫です
在庫があるものは、午前のご注文まで当日出荷に対応しています。
ご要望の使用にもよりますが、1~2.5か月を目安として下さい。
可能です。ご要望に応じ対応いたしますので、都度ご相談下さい。
出荷日より1年間が保証期間となります。
錆やベローズ・フレキ部の局所的な変形が見受けられる際は交換を推奨します。
錆やベローズ・フレキ部の局所的な変形が無いことをご確認ください。
ご要望には極力対応いたします。ご相談下さい。
溶接加工製品に対しては、ヘリウムによるリークテストを実施し、万全の品質管理を行っています。(Heリークレート:1×10^-9 Pa・m^3/sec以下)
ISO9001に基づいた品質管理技術のもとで製品化を行っており、ヘリウムリークテストなどを実施する体制が整っています。
ご要望に応じて「検査成績書」を発行致します。
ISO9001(品質マネジメントシステム)およびISO14001(環境マネジメントシステム)の認証を取得しています。