製品特長

主に低〜高真空領域におけるJIS規格フランジ（VG/VF）を標準装備。ポンプの振動吸収や、配管の芯ズレ・位置合わせに用いられます。

片端がVG、もう片端がVFとなっている「VG-VF」の組み合わせが一般的ですが、用途に合わせて「両端VG」「両端VF」も選べます。接続する際は、機器側とフレキ側で必ず「溝あり（VG）」と「溝なし（VF）」が対になるように組み合わせ、間にOリングを挟んで使用します。

仕様

仕様: ・フレキの形状は2種類あり（標準フレキとソフトフレキ）
　※ソフトフレキはフレキの断面形状がオメガ型
・標準材質　チューブ：SUS304 　継手：SUS304　フランジ：SUS304
・フランジは、VG固定・VF回転が標準、変更の対応可能
・上記のサイズ以外（VGVF65、VGVF80、VGVF100など）も対応可能
・ブレード付きも対応可能
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと

・一般的な真空排気ラインの接続や粗引ライン
・半導体製造装置、分析機器、加速器などの真空チャンバー周りの配管
・JIS規格であるため、日本の老舗メーカーの真空ポンプ、既存の大型チャンバー、排気ユニットの接続口として非常に多く採用されている

標準寸法表あり（カタログ参照）。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。