真空関連製品
フレキシブルチューブ(NW16、NW25、NW40、NW50)
NWフランジを備え、真空配管の位置ずれ吸収や狭所での曲げ配管に対応するフレキシブルチューブです。
- 用途区分
- 真空フレキ
製品特長
NW継手による高い作業性
一般的なNW継手を標準装備。頻繁に配管の組み換えやメンテナンスを行うラインや、配管の位置合わせに優れた、NWフランジ付きのフレキシブルチューブです。
狭所配管と位置ずれを柔軟に吸収
柔軟なフレキシブルチューブにより、狭いスペースでの曲げ配管や、装置組み立て時の微妙な配管の位置ズレを容易に吸収できる配管です。
仕様
- 仕様
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・フレキの形状は2種類あり(標準フレキとソフトフレキ)
※ソフトフレキはフレキの断面形状がオメガ型
・標準フレキと・標準材質 チューブ:SUS304 金具:SUS304
※チューブ:SUS316L 金具:SUS316 や材質変更も対応可能
・フランジ(NW63、NW80、NW100など)も対応可能
・ブレード付きも製作可能
・標準長さ 60~5000L
※受注生産対応 5000L以上も対応可能
※標準在庫 500L、1000L、1500L、2000Lは常時在庫
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと
適応設備
・一般的な真空排気ラインの接続や粗引ライン
・半導体製造装置、分析機器、加速器などの真空チャンバー周りの配管
・半導体製造装置、分析機器、加速器などの真空チャンバー周りの配管
寸法
標準寸法表あり(カタログ参照)。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。