真空関連製品
パイプエンドフレキシブルチューブ（1/4、3/8、1/2）
パイプエンド接続に対応し、柔軟性・耐久性・気密性を備えた真空配管用フレキシブルチューブです。
- 用途区分
- 真空フレキ
製品特長
小口径・フランジレスで狭所配管に対応
両端がフランジのないストレート管（パイプエンド）となっている、小口径のフレキシブルチューブです。Swagelokなどの「食い込み継手」や「Oリング圧縮継手」に直接挿入して接続できるほか、お客様自身で特殊なフランジや装置へ直接溶接するためのベースパーツとしても最適です。小口径かつフランジレスであるため、分析機器の内部など、スペースが極めて限られた場所での複雑な取り回しや位置合わせに威力を発揮します。
仕様
- 仕様
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・パイプ外径寸法（OD）インチサイズ（1/4"、3/8"、1/2"など）
・標準材質 チューブ：S.S.316L 金具：SUS316L
・ブレード付きも製作可能です。
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと
適応設備
・小型真空チャンバー、分析機器、計測機器内の省スペース配管
・プロセスガスの導入ライン、または冷却水・粗引き排気ライン
・半導体製造装置、分析機器、加速器などの真空チャンバー周りの配管
・プロセスガスの導入ライン、または冷却水・粗引き排気ライン
・半導体製造装置、分析機器、加速器などの真空チャンバー周りの配管
寸法
標準寸法表あり（カタログ参照）。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。