真空関連製品
ベローズ（ICF34成型、ICF70成型）
ICFフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収する高気密な成型ベローズです。
- 用途区分
- 真空ベローズ
製品特長
超高真空領域に対応
超高真空（極高真空）領域の配管でICFフランジ付きベローズ。
振動・熱伸縮による変位を吸収
真空時の振動吸収、熱伸縮による変位吸収を目的とした成形ベローズです。
仕様
- 仕様
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・材質 ベローズ：SUS316L 継手：SUS316 フランジ：SUS316 or 316L
・フランジは片側固定・片側回転が標準、変更の対応可能
・上記のサイズ以外（ICF152、ICF203など）も製作いたします。
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと
適応設備
・MBE（分子線エピタキシー）装置、超高真空CVD装置、極端紫外線（EUV）関連設備など、不純物ガスの放出を極限まで嫌うプロセスライン
・XPS（X線光電子分光装置）、オージェ電子分光装置（AES）、電子顕微鏡などの、極めてクリーンな超高真空チャンバー周辺
・粒子加速器、放射光施設、核融合実験装置など、極高真空環境や放射線環境が求められる長距離ビームラインや真空排気系
・XPS（X線光電子分光装置）、オージェ電子分光装置（AES）、電子顕微鏡などの、極めてクリーンな超高真空チャンバー周辺
・粒子加速器、放射光施設、核融合実験装置など、極高真空環境や放射線環境が求められる長距離ビームラインや真空排気系
寸法
標準寸法表あり（カタログ参照）。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。