フレキシブルチューブ（ICF34、ICF70、ICF114）

用途区分: 真空フレキ

製品特長

01

超高真空環境に適したICF接続

超高真空用のICF継手を標準装備。ガス放出を極限まで嫌う半導体製造プロセス、加速器、表面分析装置などで主に使用。作業性よりも確実な気密性とクリーンさが求められる環境で主に使用。

02

位置合わせ・偏心を柔軟に吸収

装置組み立て時の微妙な位置合わせ・偏心吸収に最適なICFフランジ付きフレキシブルチューブです。

03

完全金属シールで高温ベーキングに対応

すべての金属製接続構造により、極高真空領域での使用はもちろん、配管内の不純物を飛ばすための高温ベーキング処理（最大450℃対応）が可能。Oリングを使用しない完全金属シール構造です。

仕様

仕様: ・フレキの形状は2種類あり（標準フレキとソフトフレキ）
　※ソフトフレキはフレキの断面形状がオメガ型
・標準材質　チューブ：SUS304　継手：SUS304　フランジ：SUS304 or 304L
　※SUS316Lも製作いたします。
・フランジは片側固定・片側回転が標準、変更の対応可能
・上記のサイズ以外（ICF203、ICF253など）も対応可能
・ブレード付きも対応可能※標準対応
・標準長さ　100～5000L
　※受注生産対応　5000L以上も対応可能　
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと

適応設備

・超高真空ラインの真空排気ラインの接続など
・半導体製造装置、分析機器、加速器などの真空チャンバー周りの配管

寸法

標準寸法表あり（カタログ参照）。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。