真空関連製品
ベローズ（ISO63BT成型、ISO80BT成型、ISO100BT成型、ISO160BT成型、ISO200BT成型、ISO250BT成型）
ISO BTフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
- 用途区分
- 真空ベローズ
製品特長
大口径配管で排気量と振動吸収を両立
大口径の真空配管（主に呼び径63以上）で標準的に用いられるISO規格フランジ（ ISO-BT）を備え、軸方向の伸縮に強い「ベローズ構造」を採用した製品。ISO-BTフランジは、クランプ固定・ボルト固定のどちらのタイプ。NW（KF）フランジでは対応できない太い口径のラインにおいて、大排気量の確保と確実な振動吸収を両立。
仕様
- 仕様
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・材質 ベローズ: SUS316L フランジ：SUS316 or SUS316L
・上記のサイズ以外も製作いたします。
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと
適応設備
・大排気量の真空ポンプ（クライオポンプ、大型ターボ分子ポンプ、メカニカルブースターポンプなど）から発生する振動の強力な遮断・絶縁
・真空加熱炉など、温度変化の激しい大型設備における太径配管の熱膨張・熱収縮の吸収
・剛性の高い大口径配管の組み立て時に発生する、ミリ単位の軸方向の寸法誤差（ギャップ）や芯ズレの調整
・真空加熱炉など、温度変化の激しい大型設備における太径配管の熱膨張・熱収縮の吸収
・剛性の高い大口径配管の組み立て時に発生する、ミリ単位の軸方向の寸法誤差（ギャップ）や芯ズレの調整
寸法
標準寸法表あり（カタログ参照）。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。