真空関連製品
ベローズ（VGVF50成型、VGVF80成型、VGVF100成型、VGVF150成型）
VG・VFフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
- 用途区分
- 真空ベローズ
製品特長
大型配管でも安定した接続
主に低〜高真空領域におけるJIS規格フランジ（VG/VF）を標準装備。ポンプの振動吸収や、配管の芯ズレ・位置合わせに用いられます。VG（Oリング溝あり）とVF（溝なし）フランジを採用し、複数本のボルト・ナットで強固に締結します。大型で重量のある配管でも安定した接続が可能です。
仕様
- 仕様
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・材質 ベローズ：SUS316L フランジ：SUS304
・フランジはVG固定・VF回転が標準ですが、変更することも可能です。
・上記のサイズ以外も製作いたします。
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと
適応設備
・真空熱処理炉、真空乾燥機、大型の真空蒸着・スパッタリング装置などのJIS規格配管ライン
・半導体・FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、大型チャンバーからメインポンプへと繋がる、高い排気効率と確実な防振が求められる太径の真空排気ライン
・従来からJIS規格（VG/VFフランジ）で構築されている国内の工場や研究施設の真空ラインのメンテナンスなどに使用
・半導体・FPD（フラットパネルディスプレイ）製造装置、大型チャンバーからメインポンプへと繋がる、高い排気効率と確実な防振が求められる太径の真空排気ライン
・従来からJIS規格（VG/VFフランジ）で構築されている国内の工場や研究施設の真空ラインのメンテナンスなどに使用
寸法
標準寸法表あり（カタログ参照）。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。