真空関連製品
ベローズ（NW16成型、NW25成型、NW40成型、NW50成型）
NWフランジを備え、真空配管の振動や熱伸縮による変位を吸収するステンレス製成型ベローズです。
- 用途区分
- 真空ベローズ
製品特長
NW規格で幅広い用途に対応
NW（KF）規格のフランジを備えた真空配管用ベローズです。研究開発から産業用途まで幅広く採用されています。
工具不要の着脱と繰り返し伸縮に対応
クランプとセンターリングによるNWフランジ説続のため、工具不要で素早く確実な着脱が可能です。頻繁なメンテナンスやレイアウト変更が求められるラインに最適。ベローズ構造により、軸方向の伸縮運動（ストローク）に対して高い耐久性を持ちます。繰り返しの伸縮に強いのが特長です。
仕様
- 仕様
-
・材質 ベローズ： SUS316L フランジ：SUS316
・上記のサイズ以外（NW63、NW80、NW100など）も対応可能
・標準在庫 100L
・Heリークレート: 1.0×10^-9 Pa・m3/sec以下のこと
適応設備
・真空ポンプ（ロータリーポンプ、ドライポンプ、ターボ分子ポンプなど）から発生する振動の遮断・防振
・装置の加熱・冷却サイクルに伴う配管の熱膨張・熱収縮の吸収
・真空チャンバーと排気ユニットを接続する際の、軸方向の寸法誤差（ギャップ）の調整
・電子顕微鏡、質量分析計、表面分析装置などの精密機器における真空排気ライン（微小な振動が測定結果に影響を与える箇所）
・成膜装置（スパッタリング、真空蒸着）やエッチング装置の粗引きライン〜高真空ライン
・装置の加熱・冷却サイクルに伴う配管の熱膨張・熱収縮の吸収
・真空チャンバーと排気ユニットを接続する際の、軸方向の寸法誤差（ギャップ）の調整
・電子顕微鏡、質量分析計、表面分析装置などの精密機器における真空排気ライン（微小な振動が測定結果に影響を与える箇所）
・成膜装置（スパッタリング、真空蒸着）やエッチング装置の粗引きライン〜高真空ライン
寸法
標準寸法表あり（カタログ参照）。特殊長・特殊仕様の製作も対応可能。